Kekosongan p ump s et

( HAI saya diperlukan) r otari ay akuum p ump

Putar p umping s pipis

50 Hz : 8 m³ / h ( 2 . 2 L/d)/ 60 Hz : 9. 6 m³ /h ( 2 . 6 L/dtk)

Kekosongan l meniru

2 Pa

Max sputtering saat ini

100mA

Penguapan maksimal saat ini

100A

Bekerja p jaminan

20Pa - 8 Pa

Menyedot debu ti aku

<5 Min( 2 Pa)

Kekosongan m easure

Rentang pengukuran dari atmosfer ke 2*10 -2 mbar

Gas c kontrol

Gas f rendah c pengawas

Ruang s ize

Φ 15 0* 12 0mm (tinggi) kaca kuarsa tahan gores

Magnetron t target s sumber

Ukuran target φ 50* 0,1 mm( SEBUAH kamu)/ t sumber target: Au,Ag,Pt

Penguapan t target s sumber

Bahan target: tali karbon / sumber target: tali karbon

Operasi m metode

Manual Instruksi l

(2 unit) Berat/ s ize

55 kg/ 36 panjang x 0mm 30 lebar 0mm x 38 tinggi 0mm

Kekuasaan s upply

AC 110V 60Hz atau AC 220V 50Hz

Kekuasaan c konsumsi

< 20 00W

Pendinginan m metode

Udara c ooling (Penguapan)+pendinginan air (sputtering)

Jaminan

Garansi terbatas satu tahun dengan produk seumur hidup dukungan t