Kekosongan p ump s et

( HAI saya diperlukan) r otari ay akuum p ump+( Hai saya bebas) t urbo m oleculan p set um

Putar p umping s pipis

50Hz : 16 m³ / h (4,4 L/dtk)/ 60 Hz : 19,2 m³ / jam (5,2 L/dtk)

Molekuler p umping s pipis

300 L/ s

Kekosongan l meniru

5*10 ^-5 Pa

Bekerja p jaminan

0,5-5Pa

Menyedot debu t saya aku

>10 Menit(10 ^-3 Pa)

Kekosongan m easure

Rentang pengukuran dari atmosfer ke 1*10 ^-6 Pa

Gas c kontrol

Gas f rendah c pengawas

Ruang s ize

φ260*200mm (tinggi) m etal

Magnetron t target s sumber

Ukuran target φ 50*3mm(Cu)/ t sumber target: w ek m agnet s substansi / m bahan

Operasi m metode

Manual Instruksi l

Berat/ s ize

Panjang 100kg/610mm x lebar 420mm x tinggi 490mm

Kekuasaan s upply

AC 110V 60Hz atau AC 220V 50Hz

Kekuasaan c konsumsi

<3000W

Pendinginan m metode

Udara c ooling( p ump)+ w ater c ooling( s menyibukkan diri t target)

Jaminan

Garansi terbatas satu tahun dengan dukungan produk seumur hidup