Dua dalam Satu Film Coater: Plasma Sputter dan Carbon Evaporating Coating Machine

GSL-1100X-SPC-16C-LD adalah unit pelapis kompak dua dalam satu dengan Double Step Rotary Vane Vacuum Pump, yang mengintegrasikan plasma sputtering dan evaporasi ke dalam satu mesin kecil. Ini dirancang khusus untuk menyiapkan sampel SEM dan EDAX untuk analisis komposisi struktur mikro dan area mikro dalam analisis material dengan biaya rendah. untuk melapisi berbagai bahan, termasuk karbon.

SPESIFIKASI

Tegangan Masukan	208 - 240 VAC, fase tunggal, 50/60 Hz Versi 110V tersedia dengan trafo 1500W.
Kekuasaan	< 2000W (termasuk pompa)
Daya Keluaran	Percikan Plasma: 1600VDC dan 50mA maks. Penguapan: 10VAC dan Maks. 20A saat ini (untuk keranjang kawat tungsten).
Ruang kerja	Tabung gelas menyatu, 160 mm Dia. x 110mm Tinggi
Kepala Pelapis	Dua kepala pelapis disertakan: Kepala sputtering DC (target 2") (Gbr. 1) Penguapan termal melalui keranjang kawat tungsten ( Gbr. 2)
Tahap sampel	Satu 50 mm Dia. tahap sampel, Maks. area pelapisan: 45 mm Dia Perlengkapan evaporasi disertakan untuk melapisi material logam ringan, seperti Al, Li, Mg
Aksesori disertakan	Pompa Vakum Baling-Baling Putar Langkah Ganda (eksternal) dengan pengukur Pirani dan Perangkap uap menghilangkan kabut minyak yang disertakan, yang dapat mencapai vakum hingga 10-2 torr Satu katup solenoid disertakan untuk pembuangan udara otomatis. Untuk penguapan karbon yang lebih baik, sarankan gunakan pompa molekuler seperti gambar di bawah ini dengan biaya tambahan, yang dapat mencapai vakum hingga 10-5 torr
Atmosfer gas	Satu katup jarum dipasang untuk memungkinkan saluran masuk gas Ar mencapai lapisan plasma yang lebih baik
Sasaran & Sumber penguapan	Satu Au target: 50 mm Dia. x 0,12 mm, 1 buah disertakan. Satu serat karbon 3 kaki (benang) disertakan untuk penguapan karbon (tidak dapat menggunakan batang karbon untuk lapisan karbon)
Dimensi keseluruhan	L360mm x W300mm x H380mm
Berat bersih	50 kg
Kepatuhan	persetujuan CE Sertifikasi NRTL atau CSA tersedia atas permintaan dengan biaya tambahan, silakan hubungi perwakilan penjualan kami untuk penawaran.
Jaminan	Satu tahun terbatas dengan dukungan seumur hidup
Pengetahuan tentang Sputter Coating	TMAX Corp. berbagi teknologi pelapisan sputter tercanggih dengan pelanggan kami Sistem membutuhkan tangki bensin Ar dengan pengatur tekanan yang tidak disertakan