Dua Zona CSS Furnace Dengan Rotating Wafer Holder hingga 5x5" pada Max.800°C - OTF-1200X-RTP-II-5-R

OTF-1200X-RTP-II-5-R adalah tungku pemrosesan termal cepat canggih dengan ruang kuarsa 11" ID dan tempat sampel berputar 5"x5". Ini dirancang untuk lapisan film CSS hingga 5 "sampel wafer melingkar atau persegi pada suhu kerja 800 ° C Max. Tungku dipanaskan oleh dua kelompok pemanas halogen (Atas dan Bawah) secara terpisah dengan maks. 10 º C/s tingkat pemanasan. Dudukan sampel atas dapat diputar untuk mendapatkan pelapisan dengan keseragaman tinggi. Ini adalah alat yang sangat baik untuk meneliti film tipis generasi baru untuk sel surya, seperti CdTe, Sulfida, dan P sel surya erovskite.

SPESIFIKASI:

Struktur tungku	Tungku, dua pengontrol suhu, pengukur aliran gas dua saluran diintegrasikan ke dalam bingkai paduan aluminium seluler. Kamar terbuat dari tabung kuarsa leburan kemurnian tinggi dengan dimensi 11" OD/10.8" ID x 9" H. Flensa vakum terbuat dari Stainless Steel 316 dan diangkat dengan motor listrik. Dua pelat pemanas IR 5"x5" dan jaraknya dapat disesuaikan. Pemegang sampel atas dapat diputar dengan kecepatan 0 - 7 RPM.
Flensa Vakum	Flange Atas dengan satu port vakum KFD-25 dan satu saluran keluar gas (diperlukan pipa 1/4") dapat digeser ke atas atau ke bawah secara manual untuk memuat dan membongkar substrat dan bahan yang diuapkan dengan mudah. Flensa bawah memiliki satu port vakum KFD-25 dengan satu saluran masuk gas (diperlukan pipa 1/4") dengan katup jarum. Flensa disegel oleh cincin-o silikon ganda dan dapat mencapai maks. tekanan vakum 10E-2 Torr dengan kualitas pompa mekanis dan 10E-5 Torr dengan pompa molekuler (pompa vakum tidak termasuk, harap pesan secara terpisah). Satu pengukur vakum digital dipasang di flensa atas. Pengukur vakum digital anti-korosi presisi ada dalam paket standar (Sejak 2016.03.24) .
Pemanas dan Tempat Sampel	Dua pemanas yang dikontrol secara independen dengan celah yang dapat disesuaikan secara manual dari 2 - 30 mm. 20 buah lampu Halogen digunakan sebagai elemen pemanas untuk pemrosesan panas yang cepat. Heater terbuat dari stainless steel dengan water cold jacket untuk mengurangi radiasi panas dan mampu mendinginkan dengan cepat. 5" Dia. pemegang wafer melingkar dibangun ke pemanas atas untuk memegang substrat. Satu set pelat AlN konduktif termal tinggi (Diameter 5" x Tebal 0,5 mm) disertakan (letakkan di bagian belakang media agar panas merata). Pendingin air bersirkulasi 58L/mnt disertakan untuk menghemat sumber air (klik gambar di bawah untuk melihat spesifikasi detail). Dudukan sampel atas dapat diputar dengan kecepatan yang dapat disesuaikan 0 - 7 RPM
Pengontrol Suhu	Dua pengontrol suhu digital presisi dengan 30 segmen yang dapat diprogram menawarkan pengontrolan independen atas dan bawah pemanas. Setiap pengontrol memiliki fungsi autotune PID untuk melindungi pemanas dari overshooting dan fungsi alarm untuk mencegah panas berlebih merusak pasangan termal. Antarmuka komunikasi & perangkat lunak diinstal untuk (klik gambar di bawah untuk detailnya) merekam profil suhu yang ditunjukkan seperti di bawah ini.
Suhu Kerja	Suhu maksimum untuk setiap pemanas: ≤ 800ºC. Perbedaan suhu maksimum antara dua pemanas: ≤ 300ºC bergantung pada jarak antara dua pemanas: Jarak 30mm Maks. perbedaan suhu: 315ºC @ pemanasan bagian bawah saja
Pemanasan & Tingkat Pendinginan	Pemanasan: < 8ºC/s (pemanasan pemanas tunggal saja) Pendinginan: < 10ºC/dtk (600 - 100ºC) Maks.
Pasangan Termal	Dua pasangan termal tipe-K dipasang di pemanas atas dan bawah secara terpisah.
Tegangan Kerja	208 - 240VAC, fase tunggal, pemutus udara 50A
Kebutuhan Daya	Total 10KW
Ukuran	(klik gambar untuk melihat dimensi)
Berat Pengiriman & Dimensi	Dua palet: 525 lbs dan 48" x 40" x 87" dan 165 lbs dengan dimensi 39x31x29"
Opsional	Diperlukan satu pompa vakum. Silahkan order terpisah dengan klik gambar pertama dari kiri bawah. Tingkat vakum dapat mencapai ≤ 10E-2 torr dengan pompa mekanis. Jika menggunakan gas korosif, silakan gunakan perangkap dingin atau pompa kering anti korosif yang ditunjukkan pada gambar 2-3 dengan biaya tambahan. Anda dapat memilih sistem pengiriman gas MFC digital dengan mengklik gambar pertama dari kanan bawah.
Jaminan	Satu tahun terbatas dengan dukungan seumur hidup (Bagian habis pakai seperti tabung kuarsa dan lampu pemanas tidak tercakup dalam garansi).
Catatan & Peringatan	Tungku tabung dengan tabung kuarsa dirancang untuk digunakan di bawah vakum dan tekanan rendah < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 Mpa. Tekanan vakum hanya boleh digunakan dengan aman hingga 1000°C. Laju aliran untuk gas harus dibatasi hingga < 200 SCCM (atau 200 ml/mnt) untuk mengurangi kejutan termal pada tabung. SEBUAH perhatian : Regulator tekanan dua tahap harus dipasang pada tabung gas untuk membatasi tekanan hingga di bawah 3 PSI untuk pengoperasian yang aman. Pijakan kaki tanur ini dirancang hanya untuk pengangkutan jarak pendek pada permukaan datar (tanpa lubang atau gundukan).