Tungku CSS Lab Dua Zona untuk Pemrosesan Termal Cepat hingga Wafer Dia 5" pada Max.800°C - OTF-1200X-RTP-II-5

OTF-1200X-RTP-II-5 adalah tanur pemrosesan termal cepat dengan ruang kuarsa ID 11". Didesain untuk Penguapan Termal atau CSS ( Tutup Sublimasi Spasi ) lapisan film hingga 5 "Dia. sampel melingkar dan 800 ° C Max. Tungku dipanaskan oleh dua kelompok pemanas halogen (Atas dan Bawah) secara terpisah dengan maks. 10ºC/dtk tingkat pemanasan. Dua pengontrol suhu presisi 30 segmen terpasang dengan akurasi +/-1ºC. Port RS485 dan perangkat lunak kontrol disertakan untuk memungkinkan pengoperasian tungku dan pencatatan profil suhu melalui PC. Ini adalah alat yang sangat baik untuk meneliti film tipis generasi baru untuk sel surya, seperti sel surya CdTe, Sulfida, dan Perovskite.

SPESIFIKASI:

Struktur tungku & Ruang Vakum	· Dua pengontrol suhu. · Kamar terbuat dari tabung kuarsa leburan dengan kemurnian tinggi. · Ukuran tabung kuarsa: 11" OD/10.8" ID x 9" H · Flensa vakum terbuat dari Stainless Steel 316.
Flensa Vakum	· Flange Atas dengan satu port vakum KFD-25 dan satu saluran keluar gas (diperlukan pipa 1/4") dapat digeser ke atas atau ke bawah secara manual untuk memuat dan membongkar substrat dan bahan yang diuapkan dengan mudah. · Flensa bawah memiliki satu port vakum KFD-25 dengan satu saluran masuk gas (diperlukan pipa 1/4") dengan katup jarum. · Flensa disegel oleh cincin-o silikon ganda dan dapat mencapai maks. tekanan vakum 10E-2 Torr dengan pompa mekanis berkualitas dan 10E-5 Torr dengan pompa molekuler (pompa vakum tidak termasuk, harap pesan secara terpisah). · Satu pengukur vakum digital dipasang di flensa atas. · Pengukur vakum digital anti-korosi presisi ada dalam paket standar (Sejak 2016.03.24) .
Kontrol Aliran Gas	Mixer gas terintegrasi dengan dua float-meter dengan rentang pengukuran yang dapat disesuaikan 16 -160 mL/m
Pemanas dan Tempat Sampel	· Dua pemanas yang dikontrol secara independen dengan celah yang dapat disesuaikan secara manual dari 2 - 30 mm. · 20 buah lampu Halogen digunakan sebagai elemen pemanas untuk pemrosesan panas yang cepat. · Pemanas terbuat dari stainless steel dengan water cold jacket untuk mengurangi radiasi panas dan memungkinkan pendinginan cepat. · 5" Dia. pemegang wafer melingkar dibangun ke pemanas atas untuk memegang substrat. · Satu set pelat AlN konduktif termal tinggi atau pelat grafit (Diameter 5" x Tebal 0,5 mm) disertakan (tempatkan di bagian bawah untuk bahan penguapan) · Pendingin air bersirkulasi 58L/mnt disertakan untuk menghemat sumber air (klik gambar di bawah untuk melihat spesifikasi detail).
Pengontrol Suhu	· Dua pengontrol suhu digital presisi dengan 30 segmen yang dapat diprogram menawarkan kontrol independen atas pemanas atas dan bawah. · Setiap pengontrol memiliki fungsi autotune PID untuk melindungi pemanas dari overshooting dan fungsi alarm untuk menghindari panas berlebih dan pasangan termal rusak. · Antarmuka komunikasi & perangkat lunak diinstal untuk merekam profil suhu yang ditunjukkan di bawah ini. ·
Suhu Kerja	· Suhu maksimum untuk setiap pemanas: <= 800ºC. · Perbedaan suhu maksimum antara dua pemanas: <= 300ºC bergantung pada jarak antara dua pemanas: Hai Jarak 30mm Maks. perbedaan suhu: 315ºC @ pemanasan bagian bawah saja
Pemanasan & Tingkat Pendinginan	· Pemanasan: < 8ºC/s (pemanasan pemanas tunggal saja) · Pendinginan: < 10ºC/dtk (600 - 100ºC) Maks.
Pasangan Termal	Dua pasangan termal tipe-K dipasang di pemanas atas dan bawah secara terpisah.
Tegangan Kerja	Diperlukan 220VAC, Fase Tunggal, Pemecah Udara 60A
Kebutuhan Daya	Total 9,5KW
Ukuran	1085mm L x 680mm W x 1710mm H
Berat Pengiriman & Dimensi	· Dua palet: 525 lbs dan 48" x 40" x 87" dan 165 lbs dengan dimensi 39x31x29"
Opsional	· Diperlukan satu pompa vakum. Silahkan order terpisah dengan klik gambar pertama dari kiri bawah. Tingkat kevakuman bisa mencapai < = 10E-2 torr dengan pompa mekanis. · Jika Anda menjalankan gas korosif, harap pertimbangkan untuk menggunakan pompa kering anti korosif yang ditunjukkan pada gambar kedua dari kiri bawah (pompa Pfeiffer dari Jerman) dengan biaya tambahan. · Anda dapat memilih sistem pengiriman gas MFC digital dengan mengklik gambar pertama dari kanan bawah.
Jaminan	Satu tahun terbatas dengan dukungan seumur hidup (Bagian habis pakai seperti tabung kuarsa dan lampu pemanas tidak tercakup dalam garansi).
Laptop, perangkat lunak & Kontrol WiFi (Opsional)	· Laptop baru dengan Microsoft Window 10 dan Microsoft Office 2013 (uji coba gratis 30 hari) untuk segera digunakan. · Sistem Kontrol Suhu Berbasis Labview ( EQ-MTS01 ) memungkinkan pengguna untuk mengedit profil suhu, mengelola resep perlakuan panas, merekam dan memplot data untuk tanur MTI. · Remote control nirkabel menyediakan jangkauan pengoperasian hingga 300 meter. · Fitur di atas tersedia berdasarkan permintaan dengan biaya tambahan (hingga .000). Silakan hubungi kami untuk informasi lebih lanjut. · Catatan: Perangkat lunak ini hanya kompatibel dengan Maks Pengontrol Suhu Yudian
Catatan & Peringatan	· Tungku tabung dengan tabung kuarsa dirancang untuk digunakan di bawah vakum dan tekanan rendah < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 Mpa. Tekanan vakum hanya boleh digunakan dengan aman hingga 1000°C. Laju aliran untuk gas harus dibatasi hingga < 200 SCCM (atau 200 ml/mnt) untuk mengurangi kejutan termal pada tabung. · Perhatian : Regulator tekanan dua tahap harus dipasang pada tabung gas untuk membatasi tekanan hingga di bawah 3 PSI untuk pengoperasian yang aman. · Dudukan tungku ini dirancang untuk pengangkutan jarak pendek di permukaan yang rata