Kategori Produk

Hubungi kami

  • Jika Anda memiliki pertanyaan, silahkan hubungi kami, Semua pertanyaan akan dijawab
  • Email : [email protected]
  • Email : [email protected]
  • Tambahkan : No. 39, Xinchang Road, Xinyang, Haicang Dist., Xiamen, Fujian, China (Mainland)
Produk
PECVD Tube Furnace

mini zona suhu tunggal geser tabung tungku pecvd

  • Model Number:

    TMAX-1200-SlidingPEC
  • Pembayaran:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    15 day
  • Hubungi sekarang
Detail produk

zona geser suhu mini tunggal pecvd


tmax1200-s-h-pecvd sistem terdiri dari tl1200 tungku tabung vakum, ruang vakum kuarsa, rf power supply, sistem pasokan gas gx, sistem pompa dan sistem pengukuran vakum.

fitur utama:

1. gas dalam ruang vakum kuarsa diubah menjadi ion dengan catu daya rf.

2. pecvd adalah lebih rendah dari cvd normal untuk deposisi uap kimia.

3. stres film yang disimpan dapat dikontrol oleh frekuensi catu daya rf.

4. pecvd memiliki tingkat deposisi tinggi, keseragaman yang baik, konsistensi dan stabilitas daripada normal cvd.

5. banyak digunakan dalam pertumbuhan berbagai film, seperti siox, sinx, sioxny dan amorf silikon (a-si: h), dll.

teknik sistem tmax1200-s-h-pecvd ke elemen pemanas resistensi kawat kanthal Swedia, menggunakan struktur shell ganda dan 30 tabel kontrol suhu program, pemicu pemindah fasa, kontrol thyristor, tungku menggunakan polikristalin bahan serat alumina, bisa flensa stainless steel seal di kedua ujungnya tabung tungku, instalasi flensa stainless steel memiliki mulut, katup dan pengukur tekanan, vakum, tingkat vakum bisa mencapai 10-3 pa, bidang suhu rendah balancing, suhu permukaan, tingkat suhu angkat, hemat energi, harga konsesi, dll.

1. kawat resistansi kanthal a1 dari swedia

kanthal a1 kawat asli resistensi cina kawat tungku vs   impor tungku kawat resistensi

(1), suhu permukaan tinggi bisa mencapai 1420

(2) permukaannya adalah stainless steel (sangat cerah, pelanggan harus memperhatikannya), itu tidak akan berkarat, dan waktu penggunaan tidak akan jatuh dari terak.

(3) data dari kawat resistensi kanthal diunduh

(4) situs web kawat resistensi kanthal: www.kanthal.com

(5) resistansi seimbang dan bidang suhu sama baiknya

sebagian besar pabrikan menggunakan paduan fe-cr-al yang diolah oleh mo kawat resistansi, yang

terkadang resistansi tidak merata dan sebagian panasnya kecil                                           kanthal resistensi a1 seragam dan seimbang panas, bidang suhu yang baik                                                                                                                                                                       efek

2. pemasangan udara saklar dan pelindung kebocoran:

saat arus listrik atau kebocoran, rapat kosong secara otomatis terputus.

3. dapat terhubung dengan komputer

tungku ini dilengkapi dengan antarmuka komunikasi dan perangkat lunak, dapat langsung melalui kontrol komputer tungku masing-masing parameter, dan dapat diamati dari komputer pv di atas kompor dan sv nilai suhu dan operasi instrumen, suhu aktual dari kurva tungku menggambar komputer waktu nyata, dan dapat menyimpan data suhu setiap saat, bisa menelepon kapan saja

4. ruang

(1 ) kualitas tinggi alumina polikristalin murni fiber cured furnace dengan suction vakum dan cetakan filter.

(2) mengadopsi teknologi Jepang untuk membentuk.

(3) jarak dan nada dari kawat resistansi di tungku diatur sesuai dengan teknologi termal terbaik di Jepang, dan bidang suhu disimulasikan oleh perangkat lunak termal

(4) menggunakan 4 minggu pemanasan, suhunya lebih seimbang

5. ul opsional papan listrik bersertifikat (semua melalui sertifikasi ul impor peralatan listrik)

6. pemicu

mulai lunak pemicu pembatas saat ini                           kebanyakan pabrikan menggunakan pemicu pertanda xiamen yang tidak terbatas

1 phase shift trigger (dengan soft start dan pembatasan arus) fungsi)

2. fungsi membatasi arus tidak peduli bagaimana mengatur pemanasan waktu kita tanur listrik setelah arus sekunder transformator terbatas 170a atau kurang terbatasnya perlindungan peralatan. pemicu tidak terbatas jika tingkat pemanasan diatur salah atau terlalu cepat. arus arus rendah sangat besar perangkat akan tersandung atau terbakar.

3 fungsi soft-start saat ini akan secara perlahan meningkatkan saat ini dampak elemen pemanas kecil kondusif untuk perpanjangan umur elemen pemanas

4 fungsi perlindungan jika arus melebihi batas saat ini pemicu akan secara otomatis memotong fungsi memicu untuk memotong tungku perlindungan saat ini.

7. ul transformator bersertifikat

1 kabel transformator murni tembaga

2 transformator terdengar kecil

3 suhu transformator adalah rendah

8. berbagai pilihan untuk memilih berbagai flensa (diameter dari 25 hingga 250mm)

model

tmax-1200-slidingpecvd1

tmax-1200-slidingpecvd2

kekuasaan

1.5kw

tabung   ukuran

dia25 (od) x1250mm

dia50 (od) x1250mm

secara keseluruhan   dimensi (lxdxh)

1800x410x610

1800x460x660

itu   tegangan catu daya

220   v

meluncur   bahan rel

304   besi tahan karat

geser   mode

tahan karat   bantalan baja bergulir

jumlah   fase

tunggal   tahap

Pemanasan   elemen

impor   swedish canthal a1 resistance wire klik ke dalam pengunduhan data

mode kontrol

menggunakan termometer kontrol program listrik yu (standar)
1. 30 program kontrol suhu penyesuaian pid cerdas.
2. sirkuit pemanas tungku listrik dapat secara otomatis terputus   ketika telah dilindungi oleh hangat atau rusak secara tidak sengaja. (saat tungku   suhu melebihi 1200 derajat atau termokopel rusak, relay ac   pada sirkuit utama akan terputus secara otomatis, sirkuit utama adalah   rusak, lampu pada panel padam, lampu mati, pelindung terbatas   tungku listrik.
3. dengan 485 antarmuka komunikasi (standar dan standar untuk memilih   perangkat lunak)
4. Ini memiliki fungsi perlindungan kegagalan daya, yaitu, ketika daya   tidak aktif, program tidak akan memulai dari suhu awal, tetapi   tungku akan mulai naik ketika listrik mati.
instrumen memiliki fungsi pengaturan sendiri suhu


(untuk mengganti instrumen yang diimpor, kami perlu membayar biaya lain.)

fp93 meja kontrol suhu eropa   instrumen instrumen layar sentuh

(shimaden)

itu   mode kontrol suhu

pid

rusak   bahkan perlindungan dan tampilan

Iya

lebih   perlindungan suhu

Iya

lebih   perlindungan saat ini

Iya

kontrol   presisi

+   / - 1

itu   pelatuk

tahap   pergeseran pemicu

listrik   peralatan

Zhejiang   chint

silikon   penyearah terkontrol

106 / 16e   gerbang barat, jerman

itu   suhu tertinggi

suhu   zone1: 1200 zona suhu 2: 1200

itu   nilai suhu

suhu   zone1: 1100 zona suhu 2: 1100

Pemanasan   menilai

itu   20 / min atau kurang (dapat memodifikasi   sesuai dengan kebutuhan )

direkomendasikan   tingkat pemanasan

10 / menit atau les s

model   termokopel

zona   1: kisaran suhu tipe k 2: tipe k

Pemanasan   panjangnya

zona   1: kisaran suhu 200 mm. 2: 200 mm

listrik   sertifikasi

ce

sekitarnya   suhu permukaan

45 atau les s

rf   Sumber Daya listrik

(plasma   generator)

kekuasaan   rentang keluaran

0-500   w

maksimum   kekuatan tercermin

200   w.

kerja   frekuensi

rf:   13,56 mhz plus atau minus 0,005%

kekuasaan   stabilitas

+   / - 0,1%

harmonis   komponen

-   50 atau kurang dbc

rf   lebar

0-600   - mm dapat disesuaikan

sesuai   mode

otomatis

pendinginan   mode

udara   dingin

kebisingan

itu   & lt; 50 db

itu   antarmuka frekuensi radio

50   Ω tipe - n

memasukkan   kekuasaan

208-240   - v 50/60 hz

utama   parameter sistem pasokan gas gx

massa   flowmeter
kisaran standar
menggunakan pengontrol aliran proton 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm,   1, 2, 3, 5, 10 slm
(Anda dapat memilih kisaran kisaran dan jenis gas)
tekanan kerja maksimum 3 mp
keakuratan plus atau minus 1,5%
penurunan tekanan & lt; 0,01 mpa & lt; p = "" & gt;
ulangi akurasi plus atau minus 0,2% f.s

Saluran:

1,   2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (opsional)

bersama   Tipe

dua kali lipat   konektor kaset baja tahan karat

sistem   rentang tekanan kerja

0,1   ~ 0,5 mpa

kerja   suhu

5-45

tekanan   jam tangan vakum

0,1   ~ 0,15 mpa hingga 0,01 mpa / kasing

statis   ruang pencampuran

dia50   x 400 mm

antarmuka

dia6   1/4 "

itu   Sumber Daya listrik

220   v

ukuran

600   x600x600

bergelombang   pipa

kf25x1000mm

itu   tingkat vakum dapat dicapai dengan sistem ini

10-1   pa

kekosongan   katup penyekat

kf25

vrd   sampai 8 pompa vakum

model

vrd   ke 8

membatasi   tekanan parsial

5   x10-2 pa

masuk   antarmuka knalpot

kf25

motor   kecepatan

1440   rpm

ekstraksi   menilai

2.2   l / s

motor   kekuasaan

0,4   kw

perfeer   acp1 pompa akar multi-tahap bebas minyak (rencana 2)

model

acp15

kekuasaan   Pasokan

ac100   ~ 240v 50 / 60hz

kekuasaan

450   w

knalpot   antarmuka

kf25

bobot

25   kg

itu   tingkat kebocoran helium maksimum adalah

5   · 10-8 pa m3 / dtk

ekstrim   tingkat vakum

0,02   torr

itu   tingkat ekstraksi adalah

14   m3 / jam

model

zdr   - 1

kekuasaan

25   w.

kekosongan   rentang pengukuran derajat

0,1-10   5 pa

perlawanan   silikon

apa   zj harus 52 t

Swedia   (inficon) meteran vakum kapasitansi pirani (opsional)

model

pcg554

memasukkan   voltase

24v   1a dc (dilengkapi dengan transformator 220v)

kekosongan   antarmuka mengukur

kf16

digital   tampilan

digital   display (ukuran layar 20x14mm), yang unit display datanya adalah torr

produk   ukuran

46mm   x 28mm x 126mm (l x w x h)

itu   berat dari

5   £

deteksi   gas

berbagai   gas dapat dideteksi termasuk gas campuran, akurat dan berulang.

apakah   anti-korosi

korosi   perlindungan

itu   waktu merespon

30   ms atau kurang

ukur   jarak

3.8   x10-5-1125 torr.

molekuler   unit pompa (opsional)

satuan   tegangan input

380   v / 220 v

bergelombang   pipa

kf40x1000

kekosongan   katup penyekat

kf40

kasus   ukuran

600   x600x600

molekuler   pompa

molekuler   model pompa

fj620

memasukkan   voltase

380   v

molekuler   pompa masuk flensa

dn160

molekuler   pump pumping rate l / s (untuk udara)

600

molekuler   tekanan batas pompa (pa)

6   x 10-7

pendinginan   sistem

air   didinginkan

pendinginan   tekanan air (mpa)

0,1   ke 0,2

pendinginan   suhu air

& lt;   25 & lt; p = "" & gt;

itu   suhu lingkungan

0   ~ 40

disarankan   mulai tekanan

& lt;   100 pa & lt; p = "" & gt;

mesin   pompa vakum rvp - 6

kekuasaan

0,75   kw

voltase

380   v

kecepatan

1450   rpm

masuk   diameter

kf25   / kf40

pompa   tingkat pemompaan (l / s)

6

terakhir   tekanan

4   x10-2 pa

Jerman   pompa vakum pfeiffer

voltase

220   v

kekuasaan

110   w.

ekstraksi   antarmuka

kf40

itu   berat dari

150   kg

pompa   kecepatan pompa depan

0,9   m 3 / jam

ekstraksi   rate (n2)

33   Nona

senyawa   pengukur vakum

senyawa   model pengukur vakum

zdf

itu   Sumber Daya listrik

220   v 55 w

kontrol   presisi

plus   atau minus 1%

kekosongan   mengukur rentang pengukuran

10-5-10   5 pa

PECVD Furnace


1. kami menyediakan mesin dengan dukungan teknologi baterai.

2. kami menyediakan set lengkap peralatan baterai lithium untuk penelitian laboratorium, penelitian skala pilot dan lini produksi e.


laboratory muffle furnace


1 paket standar ekspor: perlindungan anticollision internal, kemasan kotak kayu ekspor eksternal.

2 pengiriman dengan mengungkapkan, melalui udara, melalui laut sesuai dengan kebutuhan pelanggan untuk menemukan cara yang paling cocok.

3 bertanggung jawab atas kerusakan selama proses pengiriman, akan mengubah bagian kerusakan untuk Anda secara gratis.