Pelapis Evaporasi Termal Hi-Vacuum Terkendali Suhu Presisi

GSL-1700X-SPC-2 adalah pelapis penguapan termal yang ringkas dengan kontrol suhu yang presisi dan dapat diprogram, yang cocok untuk melapisi sebagian besar film bahan logam dan organik hingga ukuran 2" dari 200 ºC hingga 1500 ºC (atau 200 ºC - 1700 ºC dengan termokopel tipe-B opsional).Tempat sampel yang dapat diputar terpasang untuk memungkinkan pelapisan film yang seragam.

SPESIFIKASI:

Struktur & Fitur	Ruang kuarsa 6" OD x 10”H untuk memudahkan pembersihan dan pemuatan sampel Pemegang sampel 2" Dia yang dapat diputar untuk lapisan film yang seragam Tungsten coil heater dan alumina crucible untuk pelapisan suhu tinggi hingga 1700 ºC Kontrol suhu presisi dengan 30 segmen yang dapat diprogram dan akurasi +/- 1 ºC Vakum tinggi dapat dicapai hingga 1.0E-5 Torr melalui turbopump opsional Port dan katup aliran gas dibangun untuk pembersihan ruang dan kemungkinan CVD
Daya Masukan	Tegangan input: 208 - 240 VAC 50/60 Hz, fase tunggal Daya Masukan: 500 W Daya Keluaran: 40 A arus maks. Direkomendasikan bekerja saat ini <20 A Kabel power disertakan tanpa steker
Kontrol Suhu & Pemanas	Pemanas koil tungsten dengan termokopel terpasang di bagian bawah wadah alumina (untuk kontrol suhu (GAMBAR 1). Silakan lihat gambar kiri untuk dimensi Termokopel tipe S standar (termasuk dan terpasang) - pemanasan dari 200 ºC - 1500 ºC (PIC.2) Termokopel tipe B opsional (dengan biaya tambahan) - pemanasan dari 1200 ºC - 1700 ºC Satu pengontrol suhu digital dengan 30 segmen yang dapat diprogram dan akurasi +/- 1 ºC (GAMBAR 3) Pengaturan waktu pengontrol suhu dalam hitungan detik. Merekomendasikan untuk membatasi laju pemanasan / pendinginan suhu hingga 0,3 ºC/dtk (atau 20 ºC/mnt) di bawah 1200 ºC, dan batasi hingga 0,15 ºC/dtk (atau 10 ºC/mnt) dari 1200 - 1700 ºC Untuk pemanasan terus menerus di atas 1300 ºC, harap batasi waktu pengoperasian hingga kurang dari 1 jam untuk mempertahankan masa pakai O-ring flensa bawah Untuk pelapisan cepat hingga 2000 °C, seperti yang diperlukan dalam pelapisan Karbon, pengguna dapat melepas termokopel, blok termal alumina, dan wadah alumina, memuat bahan penguapan langsung ke pemanas koil tungsten, dan menggunakan mode kontrol manual saat ini (PIC.4 ) Empat cawan lebur alumina (hingga 1700 ºC) dan dua pemanas koil tungsten disertakan. Silakan merujuk ke bagian Opsional untuk memesan suku cadang
Pemegang Sampel	Satu 50 mm Dia. tahap sampel yang dapat diputar dan penutupnya dipasang di flensa atas. Kecepatan putar: 5 rpm Jarak dari pemegang sampel ke sumber penguapan dapat disesuaikan dari 40 mm hingga 85 mm
Monitor Ketebalan Film (opsional)	Sensor ketebalan kuarsa presisi adalah opsional. Itu dapat dibangun ke dalam ruang untuk menyediakan pemantauan ketebalan film instan dengan akurasi 0,10 Å. Unit Tampilan LED di luar ruangan dapat: · Masukkan info bahan pelapis berdasarkan database yang disertakan Menampilkan ketebalan lapisan total dan kecepatan lapisan Presisi Film Tipis & Sistem Analisis Lapisan - EQ-TFMS-LD tersedia dengan biaya tambahan
Kekosongan	Port vakum KF25 dipasang untuk terhubung ke pompa vakum Vakum tertinggi dapat mencapai <4.0E-6 Torr dengan memompa semalaman dengan pompa Turbomolecular opsional Pompa vakum diperlukan untuk pelapisan. Silakan pilih dari Pilihan Produk berikut Tidak ada pompa vakum. Pengukur Diafragma Kapasitansi Anti-Korosif disertakan untuk vakum hingga 1.0E-6 Torr Double Stage Rotary Vane Vacuum Pump dengan perangkap uap untuk menghilangkan kabut minyak, yang dapat mencapai vakum hingga 1.0E-2 Torr untuk menguapkan bahan logam mulia, seperti emas, perak, dan bahan organik.
Saluran Masuk Gas	Pemasangan 1/4 tabung dibuat untuk pembersihan ruang atau pemrosesan gas pembentuk Satu katup jarum terpasang untuk mengontrol laju aliran gas
Opsional	Tambahan wadah alumina dan pemanas kumparan tungsten dapat dipesan di TMAX dengan biaya tambahan Total 4 cawan lebur sumber evaporasi dapat digunakan untuk menyimpan beberapa bahan yang berbeda untuk menumbuhkan banyak lapisan satu per satu di atmosfer ruang yang sama.
Dimensi keseluruhan
Dimensi Ruang Kuarsa	OD:165mm ID: 150mm Panjang: 250mm
Kepatuhan	Sertifikat CE
Jaminan	Garansi terbatas satu tahun dengan dukungan seumur hidup
Berat bersih	50 kg
Berat Pengiriman & Ukuran	130 pon, 40" x 30" x 32"
Catatan Aplikasi	Untuk mencapai vakum tinggi yang diperlukan untuk penguapan beberapa bahan, pengguna bisa Periksa chamber, O-ring, dan flange apakah ada partikel, serat, atau goresan. Gunakan tisu bebas serabut yang dibasahi dengan alkohol isopropil (IPA) untuk membersihkan permukaan Gunakan selotip pemanas untuk memanggang ruang pada suhu 150 ºC dan panaskan terlebih dahulu pemanas koil dan wadah pada suhu 500 ºC sambil memompa dengan pompa turbo opsional selama minimal 2 jam Pompa ruangan semalaman tanpa pemanasan jika vakum lebih tinggi dari 1.0E-5 Torr diperlukan Coater dapat ditempatkan ke dalam kotak sarung tangan gas Ar atau N2 untuk penguapan termal kerendahan hati & bahan peka oksigen, seperti logam Li. JANGAN memulai program pemanasan atau meningkatkan arus secara manual tanpa ruang tertutup dan vakum! JANGAN melepaskan vakum atau menghentikan pemompaan saat pelapis dalam operasi penguapan! Selama pemanas mendingin, hentikan pemompaan atau lepaskan vakum HANYA saat suhu turun di bawah 100 ºC!