Lab Dua Zona CSS Furnace untuk Pemrosesan Termal Cepat Hingga Diameter 3" & 650ºC.

OTF-1200X-RTP-II adalah tungku pemrosesan termal cepat dua zona pemanasan dengan tabung kuarsa OD 11". Ini dirancang untuk PVD atau CSS ( Tutup Sublimasi Spasi ) lapisan film hingga diameter 3" atau persegi 2"x2". Tungku dipanaskan oleh dua kelompok pemanas halogen (Atas dan Bawah) secara terpisah dengan laju pemanasan maks. 20ºC/dtk. Dua pengontrol suhu presisi 30 segmen terpasang dengan Keakuratan +/-1ºC. Port RS485 dan perangkat lunak kontrol disertakan untuk memungkinkan pengoperasian tungku dan pencatatan profil suhu melalui PC. Ini adalah alat yang sangat baik untuk meneliti film tipis generasi baru untuk sel surya, seperti CdTe, Sulfida, dan P sel surya erovskite.

SPESIFIKASI:

Struktur tungku & Ruang Vakum	· Pemanas Ganda, dua pengontrol suhu, pengukur aliran gas dua saluran terintegrasi ke dalam bingkai paduan aluminium seluler · Kamar terbuat dari tabung kuarsa leburan dengan kemurnian tinggi · Ukuran tabung kuarsa: 11" OD/10.8" ID x 9" H · Flensa vakum terbuat dari Stainless Steel 316 · Dimensi keseluruhan: 850(L)×745(W)×1615(H) mm
Flensa Vakum	· Top Flange dengan satu port vakum KFD-25 dan dua outlet gas (diperlukan pipa 1/4") dapat digeser ke atas atau ke bawah secara manual untuk memuat dan membongkar substrat dan bahan yang diuapkan dengan mudah · Flensa bawah memiliki satu port vakum KFD-25 dengan dua saluran masuk gas (diperlukan pipa 1/4") dan katup jarum · Flange disegel oleh cincin-o silikon ganda dan dapat mencapai tekanan vakum maksimum 10E-2 Torr dengan pompa mekanis berkualitas dan 10E-5 Torr dengan pompa molekuler (pompa vakum tidak termasuk, silakan pesan secara terpisah) · Pengukur vakum digital anti-korosi presisi ada dalam paket standar (Sejak 2016.03.24) .
Pengukur Aliran Gas	Dua float-meter dipasang pada panel kontrol dengan rentang pengukuran: · 16 -160 mL/m2 · 400 - 4000 mL/m2 (untuk tujuan pembersihan)
Pemanas dan Tempat Sampel	· Dua lampu IR gelombang pendek sebagai elemen pemanas untuk pemanasan cepat. · Jarak antara dua pemanas dapat disesuaikan dari 10 - 50 mm · Pemanas terbuat dari stainless steel dengan water cold jacket untuk mengurangi radiasi panas dan memungkinkan pendinginan cepat · Tempat wafer bulat 3". dibangun dengan pemanas atas untuk memuat media · Satu pelat AlN konduktif termal tinggi (3"Dia x Tebal 0,5mm) disertakan, yang harus diletakkan di bagian belakang media untuk membuatnya dipanaskan secara merata · Satu pelat grafit 3" dapat digunakan sebagai alternatif untuk pelat AIN, silakan klik gambar di bawah ini untuk memesan. · Penggantian Halogen Light Heater tersedia dengan biaya tambahan
Pengontrol Suhu	· Dua pengontrol suhu digital presisi dengan 30 segmen yang dapat diprogram menawarkan pengontrolan independen atas dan bawah pemanas · Setiap pengontrol memiliki fungsi penyetelan otomatis PID untuk melindungi pemanas dari overshooting dan fungsi alarm untuk menghindari panas berlebih dan pasangan termal rusak · Antarmuka komunikasi & perangkat lunak diinstal untuk (klik gambar di bawah untuk detailnya) merekam profil suhu yang ditunjukkan di bawah ini
Suhu Kerja	· Suhu maksimum untuk setiap pemanas: <= 650ºC · Perbedaan suhu maksimum antara dua pemanas: <= 300ºC bergantung pada jarak antara dua pemanas: Hai Jarak 30mm Maks. perbedaan suhu: 315ºC @ pemanasan bagian bawah saja Hai Jarak 40mm Maks. perbedaan suhu: 350ºC @ pemanasan bagian bawah saja Hai Jarak 50mm Maks. perbedaan suhu: 395ºC @ pemanasan bagian bawah saja
Pemanasan & Tingkat Pendinginan	· Pemanasan: < 8ºC/s (pemanasan pemanas tunggal saja) · Pendinginan: < 10ºC/dtk (600 - 100ºC) Maks.
Pasangan Termal	Dua pasangan termal tipe K (terbuka) dipasang di pemanas atas dan bawah secara terpisah
Tegangan Kerja	208 - 240VAC, fase tunggal, pemutus udara 20A
Kebutuhan Daya	Total 2200W (1100W untuk setiap pemanas)
Opsional	· Diperlukan satu pompa vakum. Silahkan order terpisah dengan klik gambar pertama dari kiri bawah. Tingkat kevakuman bisa mencapai < = 10E-2 torr dengan pompa mekanis · Jika Anda menjalankan gas korosif, harap pertimbangkan untuk menggunakan pompa kering anti korosif yang ditunjukkan pada gambar kedua dari kiri bawah (Pompa Pfeiffer dari Jerman) dengan biaya tambahan · Anda dapat memesan pendingin air resirkulasi untuk menghemat sumber air secara terpisah · Anda dapat memilih sistem pengiriman gas MFC digital dengan mengklik gambar pertama dari kanan bawah
Jaminan	Satu tahun terbatas dengan dukungan seumur hidup (Bagian habis pakai seperti tabung kuarsa dan lampu pemanas tidak tercakup dalam garansi)
Laptop, perangkat lunak & Kontrol WiFi (Opsional)	· Laptop baru dengan Microsoft Window 10 dan Microsoft Office 2013 (uji coba gratis 30 hari) untuk segera digunakan. · Sistem Kontrol Suhu Berbasis Labview ( EQ-MTS01 ) memungkinkan pengguna untuk mengedit profil suhu, mengelola resep perlakuan panas, merekam dan memplot data untuk tanur MTI. · Remote control nirkabel menyediakan jangkauan pengoperasian hingga 300 meter. · Fitur di atas tersedia berdasarkan permintaan dengan biaya tambahan (hingga .000). Silakan hubungi kami untuk informasi lebih lanjut. · Catatan: Perangkat lunak ini hanya kompatibel dengan Pengontrol Suhu Yudian MTI ·
Catatan aplikasi	Silahkan baca artikel: Efisiensi tinggi  CSS CdTe Solar Cell
Peringatan	· Tungku tabung dengan tabung kuarsa dirancang untuk digunakan di bawah vakum dan tekanan rendah < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 Mpa. Tekanan vakum hanya boleh digunakan dengan aman hingga 1000°C. Laju aliran untuk gas harus dibatasi hingga < 200 SCCM (atau 200 mL/mnt) untuk mengurangi kejutan termal pada tabung. · Perhatian : Regulator tekanan dua tahap harus dipasang pada tabung gas untuk membatasi tekanan hingga di bawah 3 PSI untuk pengoperasian yang aman.