Empat Sumber Sistem Penguapan Termal dengan Presisi

Pengontrol Suhu

GSL-1700X-EV4 adalah sistem evaporasi termal yang ringkas dengan total 4 cawan lebur sumber evaporasi dan presisi serta kontrol suhu yang dapat diprogram. Empat cawan lebur evaporasi dapat digunakan untuk menyimpan beberapa bahan yang berbeda untuk menumbuhkan film berlapis-lapis satu per satu di atmosfer ruang yang sama. Sistem ini cocok untuk melapisi sebagian besar film bahan logam dan organik hingga ukuran 2" dari 200 ºC hingga 1500 ºC (atau 200 ºC - 1700 ºC dengan termokopel tipe-B opsional).

SPESIFIKASI:

Struktur & Fitur	OD 280 mm x 260 mm ID x 310 mm Tinggi ruang kuarsa untuk memudahkan pembersihan dan pemuatan sampel 2" Dia sumber penguapan yang dapat diputar untuk lapisan film yang seragam Tungsten coil heater dan alumina crucible untuk pelapisan suhu tinggi hingga 1700 ºC Kontrol suhu presisi dengan 30 segmen yang dapat diprogram dan akurasi +/- 1 ºC Vakum tinggi dapat dicapai hingga 1.0E-5 Torr melalui turbopump opsional Port dan katup aliran gas dibangun untuk pembersihan ruang dan kemungkinan CVD
Daya Masukan	Tegangan input: AC 208 - 240 V 50/60 Hz, fase tunggal (AC 110V tersedia melalui trafo 1500W) Daya Input: 1.200 W daya keluaran:: 12 V, dan arus maks 30 A. Direkomendasikan bekerja saat ini <30 A Kabel listrik disertakan tanpa steker
Kontrol Suhu & Pemanas	Empat Crucible Penguapan Alumina dengan kapasitas masing-masing 3 mL. Empat sumber tidak dapat digunakan secara bersamaan. Deposit multilayer akan dilakukan satu per satu. Pemanas koil tungsten dengan termokopel terpasang di bagian bawah wadah alumina (untuk kontrol suhu (GAMBAR 1). Silakan lihat gambar kiri untuk dimensi Termokopel tipe S standar (termasuk dan terpasang) - pemanasan dari 200 ºC - 1500 ºC (PIC.2) Termokopel tipe B opsional (dengan biaya tambahan) - pemanasan dari 1200 ºC - 1700 ºC Satu pengontrol suhu digital dengan 30 segmen yang dapat diprogram dan akurasi +/- 1 ºC (GAMBAR 3) Pengaturan waktu pengontrol suhu dalam hitungan detik. Merekomendasikan untuk membatasi laju pemanasan / pendinginan suhu hingga 0,3 ºC/dtk (atau 20 ºC/mnt) di bawah 1200 ºC, dan batasi hingga 0,15 ºC/dtk (atau 10 ºC/mnt) dari 1200 - 1700 ºC Untuk pemanasan terus-menerus di atas 1300 ºC, harap batasi waktu pengoperasian hingga kurang dari 1 jam untuk mempertahankan masa pakai cincin-O flensa bawah Untuk pelapisan cepat hingga 2000 °C, seperti yang diperlukan dalam pelapisan Karbon, pengguna dapat melepas termokopel, blok termal alumina, dan wadah alumina, memuat bahan penguapan langsung ke pemanas koil tungsten, dan menggunakan mode kontrol manual saat ini (PIC.4 ) Empat cawan lebur alumina (hingga 1700 ºC) dan dua pemanas koil tungsten disertakan. Silakan merujuk ke bagian Opsional untuk memesan suku cadang
Tempat Sampel yang Dapat Diputar	Satu 50 mm Dia. tahap sampel yang dapat diputar dan penutupnya dipasang di flensa atas. Kecepatan putar: 5 rpm Jarak dari pemegang sampel ke sumber penguapan dapat disesuaikan dari 40 mm hingga 85 mm
Sistem Analisis Ketebalan Film (opsional)	Film Tipis Presisi & Sistem Analisis Lapisan - EQ-TFMS-LD tersedia dengan biaya tambahan.
Kekosongan	Port vakum KF25 dipasang untuk terhubung ke pompa vakum Vakum tertinggi dapat mencapai <1E-5 Torr dengan memompa semalaman dengan pompa Turbomolecular opsional Pompa vakum diperlukan untuk pelapisan. Silakan pilih dari Pilihan Produk berikut Double Stage Rotary Vane Vacuum Pump dengan perangkap uap untuk menghilangkan kabut minyak, yang dapat mencapai vakum hingga 1.0E-2 Torr untuk menguapkan bahan logam mulia, seperti emas, perak, dan bahan organik.
Saluran Masuk Gas	Pemasangan 1/4 tabung dibuat untuk pembersihan ruang atau pemrosesan gas pembentuk Satu katup jarum terpasang untuk mengontrol laju aliran gas
Opsional	Wadah alumina ekstra dan pemanas koil tungsten dapat dipesan di TMAX dengan biaya tambahan
Dimensi keseluruhan
Dimensi Ruang Kuarsa	OD:280mm (11") ID: 260mm ( 10,2") Panjang: 310mm (12,2")
Kepatuhan	Sertifikat CE
Jaminan	Garansi terbatas satu tahun dengan dukungan seumur hidup
Berat bersih	80 kg
Berat Pengiriman & Ukuran	200 pon, 40" x 30" x 32"
Catatan Aplikasi	Untuk mencapai vakum tinggi yang diperlukan untuk penguapan beberapa bahan, pengguna bisa Periksa chamber, O-ring, dan flange apakah ada partikel, serat, atau goresan. Gunakan tisu bebas serabut yang dibasahi dengan alkohol isopropil (IPA) untuk membersihkan permukaan Gunakan selotip pemanas untuk memanggang ruang pada suhu 150 ºC dan panaskan terlebih dahulu pemanas koil dan wadah pada suhu 500 ºC sambil memompa dengan pompa turbo opsional selama minimal 2 jam Pompa ruangan semalaman tanpa pemanasan jika vakum lebih tinggi dari 1.0E-5 Torr diperlukan JANGAN memulai program pemanasan atau meningkatkan arus secara manual tanpa ruang tertutup dan vakum! JANGAN melepaskan vakum atau menghentikan pemompaan saat pelapis dalam operasi penguapan! Selama pemanas mendingin, hentikan pemompaan atau lepaskan vakum HANYA saat suhu turun di bawah 100 ºC!