Kategori Produk

Hubungi kami

  • Jika Anda memiliki pertanyaan, silahkan hubungi kami, Semua pertanyaan akan dijawab
  • Email : [email protected]
  • Email : [email protected]
  • Tambahkan : No. 39, Xinchang Road, Xinyang, Haicang Dist., Xiamen, Fujian, China (Mainland)
Produk
PECVD Furnace

3 zona suhu 150 mm dari tungku pecvd

  • Model Number:

    TMAX-1200-1200-1200
  • Pembayaran:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    15 day
  • Hubungi sekarang
Detail produk

3 zona suhu 150 mm dari tungku pecvd


tmax-1200-1200-1200 sistem terdiri dari tl1200 tungku tabung vakum, ruang vakum kuarsa, rf power supply, sistem pasokan gas gx, sistem pompa dan sistem pengukuran vakum.

fitur utama:

1. gas dalam ruang vakum kuarsa diubah menjadi ion dengan catu daya rf.

2. pecvd adalah lebih rendah dari cvd normal untuk deposisi uap kimia.

3. stres film yang disimpan dapat dikontrol oleh frekuensi catu daya rf.

4. pecvd memiliki tinggi tingkat deposisi, keseragaman yang baik, konsistensi dan stabilitas dari cvd normal.

5. banyak digunakan dalam pertumbuhan berbagai film, seperti siox, sinx, sioxny dan amorf silikon (a-si: h), dll.

tl1200 - teknik sistem pecvd ke elemen pemanas kawat resistensi kanthal Swedia, menggunakan struktur shell ganda dan 30 tabel kontrol suhu program, pemicu pemindah fasa, kontrol thyristor, tungku menggunakan polikristalin bahan serat alumina, bisa flensa stainless steel seal di kedua ujungnya tabung tungku, instalasi flensa stainless steel memiliki mulut, katup dan pengukur tekanan, vakum, tingkat vakum bisa mencapai 10-3 pa, bidang suhu rendah balancing, suhu permukaan, tingkat suhu angkat, hemat energi, harga konsesi, dll.

1. kawat resistansi kanthal a1 dari swedia

kanthal a1 kawat asli resistensi cina kawat tungku vs   impor tungku kawat resistensi

(1), suhu permukaan tinggi bisa mencapai 1420

(2) permukaannya adalah stainless steel (sangat cerah, pelanggan harus memperhatikannya), itu tidak akan berkarat, dan waktu penggunaan tidak akan jatuh dari terak.

(3) data dari kawat resistensi kanthal diunduh

(4) situs web kawat resistensi kanthal: www.kanthal.com

(5) resistansi seimbang dan bidang suhu sama baiknya

sebagian besar pabrikan menggunakan paduan fe-cr-al yang diolah oleh mo kawat resistansi, yang

terkadang resistansi tidak merata dan sebagian panasnya kecil                                           kanthal resistensi a1 seragam dan seimbang panas, bidang suhu yang baik                                                                                                                                                                       efek

2. pemasangan udara saklar dan pelindung kebocoran:

saat arus listrik atau kebocoran, rapat kosong secara otomatis terputus.

3. dapat terhubung dengan komputer

tungku ini dilengkapi dengan antarmuka komunikasi dan perangkat lunak, dapat langsung melalui kontrol komputer tungku masing-masing parameter, dan dapat diamati dari komputer pv di atas kompor dan sv nilai suhu dan operasi instrumen, suhu aktual dari kurva tungku menggambar komputer waktu nyata, dan dapat menyimpan data suhu setiap saat, bisa menelepon kapan saja

4. ruang

(1 ) kualitas tinggi alumina polikristalin murni fiber cured furnace dengan suction vakum dan cetakan filter.

(2) mengadopsi teknologi Jepang untuk membentuk.

(3) jarak dan nada dari kawat resistansi di tungku diatur sesuai dengan teknologi termal terbaik di Jepang, dan bidang suhu disimulasikan oleh perangkat lunak termal

(4) menggunakan 4 minggu pemanasan, suhunya lebih seimbang

5. ul opsional papan listrik bersertifikat (semua melalui sertifikasi ul impor peralatan listrik)

6. pemicu

mulai lunak pemicu pembatas saat ini                           kebanyakan pabrikan menggunakan pemicu pertanda xiamen yang tidak terbatas

1 phase shift trigger (dengan soft start dan pembatasan arus) fungsi)

2. fungsi membatasi arus tidak peduli bagaimana mengatur pemanasan waktu kita tanur listrik setelah arus sekunder transformator terbatas 170a atau kurang terbatasnya perlindungan peralatan. pemicu tidak terbatas jika tingkat pemanasan diatur salah atau terlalu cepat. arus arus rendah sangat besar perangkat akan tersandung atau terbakar.

3 fungsi soft-start saat ini akan secara perlahan meningkatkan saat ini dampak elemen pemanas kecil kondusif untuk perpanjangan umur elemen pemanas

4 fungsi perlindungan jika arus melebihi batas saat ini pemicu akan secara otomatis memotong fungsi memicu untuk memotong tungku perlindungan saat ini.

7. ul transformator bersertifikat

1 kabel transformator murni tembaga

2 transformator terdengar kecil

3 suhu transformator adalah rendah

8. berbagai pilihan untuk memilih berbagai flensa (diameter dari 25 hingga 250mm)

model

tmax-1200-1200-1200 - saya

tmax-1200-1200-1200 -ii

tmax-1200-1200-1200 -aku aku aku

tmax-1200-1200-1200 -iv

ukuran tabung

120 (od) x1800mm dia

60 (od) x1800mm dia

80 (od) x1800mm dia

100 (od) x1800mm dia

dimensi keseluruhan (lxdxh)

1800 x480x680

1800 x410x610

1800 x410x610

1800 x460x660

tegangan catu daya

220 v

bahan rel slide

304 stainless steel

mode geser

bantalan bergulir stainless steel

jumlah fase

Fase tunggal

elemen pemanas

impor resistensi a1 Swedia canthal   klik kawat ke unduhan data

mode kontrol

menggunakan kontrol program listrik yu   termometer (standar)
1. 30 program kontrol suhu penyesuaian pid cerdas.
2. sirkuit pemanas tungku listrik dapat secara otomatis terputus   ketika telah dilindungi oleh hangat atau rusak secara tidak sengaja. (saat tungku   suhu melebihi 1200 derajat atau termokopel rusak, relay ac   pada sirkuit utama akan terputus secara otomatis, sirkuit utama adalah   rusak, lampu pada panel padam, lampu mati, pelindung terbatas   tungku listrik.
3. dengan 485 antarmuka komunikasi (standar dan standar untuk memilih   perangkat lunak)
4. Ini memiliki fungsi perlindungan kegagalan daya, yaitu, ketika daya   tidak aktif, program tidak akan memulai dari suhu awal, tetapi   tungku akan mulai naik ketika listrik mati.

instrumen memiliki fungsi pengaturan sendiri suhu

(untuk mengganti instrumen yang diimpor,   kita perlu membayar biaya lain.)

fp93   tabel kontrol suhu (shimaden)

orang eropa   instrumen layar sentuh   instrumen

mode kontrol suhu

pid

perlindungan dan tampilan yang rusak

Iya

lebih dari perlindungan suhu

Iya

lebih dari perlindungan saat ini

Iya

kontrol presisi

+ / - 1

pemicunya

pemicu pergeseran fasa

peralatan listrik

zhejiang chint

penyearah terkontrol silikon

Gerbang barat 106/16e, Jerman

suhu tertinggi

zona suhu1: 1200 suhu   zona 2: 1200

suhu pengenal

zona suhu1: 1100 suhu   zona 2: 1100

tingkat pemanasan

20 / mnt atau kurang   (dapat memodifikasi sesuai dengan kebutuhan)

tingkat pemanasan yang direkomendasikan

10 / mnt atau kurang

model termokopel

zona 1: kisaran suhu tipe k   2: tipe k

panjang pemanasan

zona 1: kisaran suhu 200 mm.   2: 200 mm

sertifikasi kelistrikan

ce

suhu permukaan sekitarnya

45 atau kurang

catu daya rf

(plasma   generator)

rentang output daya

0-500 w

daya maksimum yang dipantulkan

200 w.

frekuensi kerja

rf: 13,56 mhz plus atau minus 0,005%

stabilitas daya

+ / - 0,1%

komponen harmonik

- 50 atau kurang dbc

lebar rf

0-600 - mm dapat disesuaikan

mode pencocokan

otomatis

mode pendinginan

udara dingin

kebisingan

& lt; 50 db

antarmuka frekuensi radio

50 Ω tipe-n

daya input

208-240 - v 50/60 hz

parameter utama pasokan gas gx   sistem

flowmeter massa
kisaran standar
menggunakan pengontrol aliran proton 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm,   1, 2, 3, 5, 10 slm
(Anda dapat memilih kisaran kisaran dan jenis gas)
tekanan kerja maksimum 3 mp
keakuratan plus atau minus 1,5%
penurunan tekanan & lt; 0,01 mpa & lt; p = "" & gt;
ulangi akurasi plus atau minus 0,2% f.s

Saluran:

1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (opsional)

jenis sendi

kaset stainless steel ganda   penyambung

rentang tekanan kerja sistem

0,1 ~ 0,5 mpa

suhu kerja

5-45

menonton tekanan vakum

0,1 ~ 0,15 mpa hingga 0,01 mpa / kasing

ruang pencampuran statis

dia50 x 400 mm

antarmuka

dia6 1/4 "

catu daya

220 v

ukuran

600 x 600x600

pipa bergelombang

kf25x1000mm

tingkat vakum dapat dicapai dengan   sistem ini

10-1 pa

katup penyekat vakum

kf25

vrd ke 8 pompa vakum

model

vrd ke 8

membatasi tekanan parsial

5 x10-2 pa

antarmuka saluran masuk knalpot

kf25

kecepatan motor

1.440 rpm

tingkat ekstraksi

2,2 l / dtk

tenaga motor

0,4 kw

perfeer acp1 multi-stage bebas minyak   pompa akar (rencana 2)

model

acp15

Sumber Daya listrik

ac100 ~ 240v 50 / 60hz

kekuasaan

450 w

antarmuka knalpot

kf25

bobot

25 kg

tingkat kebocoran helium maksimum adalah

5 · 10-8 pa m3 / s

tingkat vakum ekstrim

0,02 torr

tingkat ekstraksi adalah

14 m3 / jam

model

zdr - 1

kekuasaan

25 w.

rentang pengukuran tingkat vakum

0,1-10 5 pa

silikon resistensi

apa zj harus 52 t

Swedia (inficon) kapasitansi pirani   pengukur vakum (opsional)

model

pcg554

tegangan input

24v 1a dc (dilengkapi dengan 220v   transformator)

antarmuka pengukur vakum

kf16

tampilan digital

tampilan digital (ukuran layar 20x14mm),   unit tampilan datanya adalah torr

ukuran produk

46mm x 28mm x 126mm (l x w x h)

berat

5 lbs

deteksi gas

berbagai gas dapat dideteksi   termasuk gas campuran, akurat dan berulang.

apakah anti korosi

proteksi karat

waktu respon

30 ms atau kurang

rentang pengukuran

3,8 x10-5-1125 torr.

unit pompa molekuler (opsional)

tegangan input unit

380 v / 220 v

pipa bergelombang

kf40x1000

katup penyekat vakum

kf40

ukuran kasing

600 x 600x600

pompa molekuler

model pompa molekuler

fj620

tegangan input

380 v

flens inlet pompa molekuler

dn160

tingkat pemompaan pompa molekul l / s (untuk   udara)

600

tekanan batas pompa molekuler (pa)

6 x 10-7

sistem pendingin

air didinginkan

tekanan air pendingin (mpa)

0,1 hingga 0,2

suhu air pendingin

& lt; 25 & lt; p =   "" & gt;

suhu lingkungan

0 ~ 40

tekanan awal yang disarankan

& lt; 100 pa & lt; p = "" & gt;

pompa vakum mesin rvp - 6

kekuasaan

0,75 kw

voltase

380 v

kecepatan

1.450 rpm

diameter saluran masuk

kf25 / kf40

pump pumping rate (l / s)

6

tekanan tertinggi

4 x10-2 pa

pompa vakum Jerman pfeiffer

voltase

220 v

kekuasaan

110 w.

antarmuka ekstraksi

kf40

berat

150 kg

kecepatan pompa dari pompa depan

0,9 m 3 / jam

tingkat ekstraksi (n2)

33 m / s

pengukur vakum senyawa

model pengukur vakum senyawa

zdf

catu daya

220 v 55 w

kontrol presisi

plus atau minus 1%

rentang pengukuran pengukur vakum

10-5-10 5 pa

PECVD Furnace


1. kami menyediakan mesin dengan dukungan teknologi baterai.

2. kami menyediakan set lengkap peralatan baterai lithium untuk penelitian laboratorium, penelitian skala pilot dan lini produksi e.


laboratory muffle furnace


1 paket standar ekspor: perlindungan anticollision internal, kemasan kotak kayu ekspor eksternal.

2 pengiriman dengan mengungkapkan, melalui udara, melalui laut sesuai dengan kebutuhan pelanggan untuk menemukan cara yang paling cocok.

3 bertanggung jawab atas kerusakan selama proses pengiriman, akan mengubah bagian kerusakan untuk Anda secara gratis.