Rotary PECVD tabung tungku (60 mm OD) dengan pemanas satu zona di 1200 ° C Max.

TMAX-DSP-1200PECVD-XZ s adalah tiga zona 1200ºC PE-CVD tabung tungku sistem terdiri dari 500W RF plasma sumber, tabung tungku dengan saluran terintegrasi presisi massa aliran meter dengan gas tangki, pencampuran dan kualitas tinggi oilless pompa vakum. seperti PE-CVD tungku adalah alat baru untuk tumbuh nanowire atau Grafena atau SiC lapisan.

spesifikasi:

daya

Memiliki

3.5 KW
tabung ukuran	Dia 60(OD) X1200mm
produk dimensi (mm)	1300 x 420 x 1200
Tube berputar kecepatan	0 - 25 RPM variabel
tungku tilt sudut	-10-30 °
	1. dua diprogram presisi temp. controller dengan 30 segmen. 2. dua terpisah Pemanas Ruangan Zona: 200mm panjang untuk masing-masing Penghangat Ruangan zona 400mm total dalam Penghangat Ruangan panjang 250mm konstan Pusat suhu Penghangat Ruangan area jika zona kedua dipanaskan pada saat yang sama suhu
tungku struktur	1. Split tabung tungku dengan geser rel 2. Max 1150ºC untuk pemanas terus-menerus 3. multi programmable presisi digital suhu controller dengan 30 segmen. 4. Input daya: 208-240V AC input, tunggal fase di max. 4KW
Plasma RF Power Supply	1. Output Power: 5 - 500W disesuaikan dengan ± 1% stabilitas. 2. RF frekuensi: 13, 56 MHz ±0.005% stabilitas. 3. refleksi Power: 10W Max. 4. pencocokan: Otomatis 5. RF Output Port: 50 Ω, tipe-N, wanita 6. suara: < 30 dB. 7. pendinginan: Pendingin udara. 8. daya: 208-240VAC, Single Phase, 50 / 60Hz
anti-korosif tekanan Mengukur	1. 3.8x10 -5 untuk 1125 Torr pengukuran rentang 2. anti-korosif, gas-jenis independen 3. akurasi tinggi dan reproduktifitas di suasana untuk handal tekanan atmosfer deteksi 4. cepat atmosfer deteksi menghilangkan waktu tunggu dan lebih pendek proses siklus 5. mudah untuk menukar plug & play sensor unsur
Vacuum Pump Stasiun dan Katup	1. Pfeiffer kecepatan tinggi (120L/min) minyak-kurang Kering pompa vakum, 10E-3 Torr batas dipasang di dalam tugas berat troli Mobile 2. KF25 adapter dan stainless steel pipa terhubung antara pompa dan tabung flange dengan bola katup untuk nasabah plug dan bermain 3. 10E-2 Torr vakum dapat dicapai dalam pengolahan tabung
massa industri Flowmeters & Gas pencampuran Stasiun	dipasang dalam tugas berat troli mobile yang mana tabung tungku dapat ditempatkan di atas. LCD layar sentuh terintegrasi untuk memberikan kontrol yang mudah pada aliran gas tingkat masing-masing saluran independen. 1. suhu kerja: 5 ~ 45 ºC 2. Max. Tekanan: 3 x 10 6 Pa 3. ketepatan: ±1.5% FS 4. Liner: ±(0.5-1.5) % F.S. 5. duplikat akurasi: ±0.2%F.S. 6. mengendalikan Kisaran: 5,10,20,30,50,100,200,300, 500SCCM atau 1,2,3,5, 10SLM.
Heating & pendingin Harga	RS485 port dan perangkat lunak yang diinstal dan remote kontrol suhu Profil oleh PC. untuk mencapai Tingkat Max.Heating, pengguna harus Panaskan tungku diinginkan suhu, kemudian geser tungku untuk zona sampel tabung untuk mencapai Max. laju pendinginan, memindahkan tungku panas dari zona panas ke dingin Zona Penghangat Ruangan Rate: 15° C/sec (RT - 150 ° C); 10° C/sec (150° C - 250° C); 7° C/sec (250° C -350 ° C); 4° C/sec (350° C -500 ° C); 3° C/sec (350° C -550 ° C); 2° C/sec (550° C -650 ° C); 1° C/sec (650° C -800 ° C); 0,5 ° C/sec (800° C - 1000° C); pendinginan Rate: 15° C/sec (1000-950° C); 10° C/sec (950° C - 900° C); 7° C/sec (900° C - 850° C); 4° C/sec (850° C - 750° C); 2° C/sec (750° C - 600° C); 1.5° C/sec (600° C - 500° C); 1° C/sec (500° C - 400° C); 0,5 ° C/sec (400° C - 300° C);
garansi	satu tahun garansi dengan seumur hidup terbatas dukungan.
catatan aplikasi	tabung tungku dengan kuarsa tabung yang dirancang untuk menggunakan di bawah vakum dan tekanan rendah < 0,12 MPa (mutlak tekanan). perhatian: A tekanan dua-tahap regulator harus diinstal pada tabung gas untuk membatasi tekanan untuk di bawah 3 PSI operasi yang aman. laju aliran untuk gas harus dibatasi < 200 SCCM (atau 200 ml/menit) untuk mengurangi guncangan termal pada tabung. Vacuum batas definisi untuk semua Kuarsa tabung tungku: * tekanan vakum hanya dapat aman digunakan hingga 1000° C. untuk operasi PECVD sistem dengan tabung ukuran lebih besar dari 4", harap selalu menyimpan lebih dari 1 meter jarak dari sumber plasma setelah plasma generator dimulai bekerja.

rinci gambar

sertifikasi kami

koperasi merek

Hot penjualan produk

1. kami menyediakan mesin dengan dukungan teknologi baterai.

2. kami menyediakan set lengkap lithium baterai peralatan untuk penelitian laboratorium, skala pilot penelitian dan produksi lin e.

Packing & pengiriman

1 standar diekspor paket: perlindungan anticollision Internal, eksternal ekspor kemasan kotak kayu.

2 pengiriman dengan express, melalui udara, laut sesuai dengan persyaratan pelanggan untuk menemukan cara yang paling tepat.

3 bertanggung jawab untuk kerusakan selama proses pengiriman, akan mengubah kerusakan bagian untuk Anda untuk gratis.