Struktur Kompak

Daya Masukan

• Fase tunggal 220 VAC 50 / 60 Hz
• 2000 W (termasuk pompa vakum dan pendingin air)

Sumber Daya

• Tiga sumber daya sputtering diintegrasikan ke dalam satu kotak kontrol (Klik gambar di bawah untuk melihat detail spesifikasi)
• Sumber DC: daya 500 W untuk bahan pelapis logam (Pic 1)
• Sumber RF: daya 300 W, frekuensi 13,56 MHz untuk melapisi bahan non-konduktif (Pic 2)

Kepala Magnetron Sputtering

• Tiga Kepala Magnetron Sputtering 2". dengan jaket pendingin air dan daun jendela disertakan
• Satu Model Kepala Sputting juga tersedia.
• Persyaratan ukuran target: diameter 2".
• Kisaran ketebalan: 0,1 - 5 mm untuk target logam dan non-konduktif (termasuk pelat pendukung)
• Satu Sasaran Baja Tahan Karat dan satu Research Grade sasaran Al2O3 disertakan untuk pengujian demo
• Opsional 2" target sputtering (atau backing plate) tersedia berdasarkan permintaan dengan biaya tambahan.
• Resep Sputtering yang Direkomendasikan dan Tips Bermanfaat
• Pelapis khusus: Dua DC - Satu RF; Dua RF - Satu DC; Tiga DC; Tiga RF (Silakan pilih dari Pilihan Produk)
• Opsional: Kabel RF 148 cm dapat dipesan dengan biaya tambahan untuk penggantian

Ruang Vakum

• Ruang vakum: 300 mm Dia. x Tinggi 300 mm, terbuat dari stainless steel
• Viewport: Dua bagian 100 mm Dia. kaca. Satu diperbaiki; satu dilepas untuk pembersihan dan penggantian
• Tutup tipe berengsel dengan tiang listrik pneumatik memungkinkan perubahan target yang mudah

Tahap Sampel

• Sample holder adalah panggung yang dapat diputar dan dipanaskan yang terbuat dari pemanas keramik dengan penutup tembaga
• Ukuran pemegang sampel: 140 mm Dia. untuk. 4" wafer maks
• Kecepatan rotasi: 1 - 20 rpm disesuaikan untuk pelapisan yang seragam
• Suhu dudukan dapat disesuaikan dari RT hingga 500 °C maks (maks 2 jam) dengan akurasi +/- 1,0 °C melalui pengontrol suhu digital

Kontrol Aliran Gas

• Dua pengontrol aliran massa presisi (MFC) dipasang untuk memungkinkan masuknya dua jenis gas
  
  
• Laju aliran: 0 – 200 mL/mnt & 0 - 100ml/mnt dapat disesuaikan pada panel kontrol layar sentuh
• Katup saluran masuk udara dipasang untuk pelepasan vakum

Stasiun Pompa Vakum

• Stasiun pompa bergerak disertakan. Pelapis sputtering dapat ditempatkan di atas stasiun
• Pompa turbo berkecepatan tinggi pada kecepatan 80L/S digabungkan dengan pompa mekanis dua tahap (220 L/mnt) untuk tingkat vakum maksimum dan kecepatan pemompaan yang lebih cepat
• Tingkat vakum standar yang terhubung dengan ruang : < 4.0E-5 Torr. . (1.0E-6 Torr dengan pemanggangan ruang)
• Opsional dengan biaya tambahan
• Jika memilih pompa turbo kecepatan tinggi 150L/S, vakum dapat mencapai 10-6 torr dengan ruang (6x10-7 torr dengan pemanggangan)
• Untuk vakum sangat tinggi hingga 10^-7 torr, diperlukan pompa pengambil (100L/dtk H2 & O2) selain pompa turbo. Silakan berkonsultasi dengan teknisi kami untuk penyesuaian terperinci.
• Pompa turbo kecepatan tinggi 150L/S
• Pompa Getter
• 

Pendingin Air

• Satu kontrol suhu digital resirkulasi pendingin air disertakan.
• Rentang pendinginan: 5~35 °C
• Laju aliran: 16 L/mnt
• Tekanan pompa: 14 psi

Opsional

• kuarsa yang tepat Monitor Ketebalan Film bersifat opsional, yang dapat dimasukkan ke dalam bilik untuk memantau ketebalan lapisan dengan akurasi 0,10 Å
• Presisi Film Tipis & Sistem Analisis Lapisan - EQ-TFMS-LD tersedia dengan biaya tambahan
• Berbagai target oksida dan logam 2” tersedia berdasarkan permintaan dengan biaya tambahan. Pelat pelapis epoksi perak dan tembaga dapat dipesan di TMAX

Dimensi Keseluruhan

Berat Bersih Pelapis

• 160 kg

Berat Pengiriman & Ukuran

• Total 3 Palet
• 365 pon, 48" x 40" x 45"
  
  
• 390 pon, 48"x 40" x 49"
  
  
• 210 pon, 48" x 40" x 30"
  
  

Kepatuhan

• persetujuan CE
• Sertifikasi MET (UL 1450) tersedia berdasarkan permintaan dengan biaya tambahan, silakan hubungi perwakilan penjualan kami untuk mendapatkan penawaran.

Jaminan

• Garansi terbatas satu tahun dengan dukungan seumur hidup

Catatan Aplikasi

• Regulator tekanan dua tahap (tidak termasuk) harus dipasang pada tabung gas untuk membatasi tekanan keluaran gas di bawah 0,02 MPa untuk penggunaan yang aman
• Untuk menghilangkan oksigen dari bilik, TMAX menyarankan Anda untuk menggunakan Hidrogen 5% + Nitrogen 95% untuk membersihkan bilik 2-3 kali, yang dapat menurunkan kadar oksigen hingga < 10 ppm
• Harap gunakan > Gas Argon kemurnian 5N untuk sputtering plasma. Padahal kemurnian 5N Ar biasanya mengandung 10 - 100 ppm oksigen dan H2O tergantung pemasoknya. TMAX menyarankan Anda untuk menggunakan alat pemurnian gas untuk memurnikan gas sebelum mengisi.
• Untuk performa terbaik, target non-konduktif harus dipasang dengan pelat penyangga tembaga. Silakan merujuk ke video instruksi di bawah ini untuk ikatan target
• TMAX memasok substrat kristal tunggal dari A hingga Z
• TMAX Sputtering Coaters telah berhasil melapisi ZnO pada Al 2 HAI 3 substrat pada 500 °C
• Uji kelenturan film tipis/lapisan elektroda dengan Penguji lentur mandrel EQ-MBT-12-LD .
• TEGANGAN TINGGI! Kepala sputtering terhubung ke tegangan tinggi. Demi keselamatan, operator harus mematikan generator RF / DC sebelum pemuatan sampel dan operasi perubahan target
• JANGAN gunakan air keran di water chiller. Harus menggunakan Rust Protection Coolant untuk mencegah karat dan korosi.